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项目简介
睿励科学仪器创建于2005年，总部设立在张江，研发和销售团队分布于北京、上海、西安、武汉等地。公司从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制。公司膜厚测量、缺陷检测及光学关键尺寸测量等设备已为国内近20家前道半导体晶圆制造客户所采用，在不同的生产工艺产线上通过了大规模量产验证（累计数以亿计的晶圆跑片数），无论是设备稳定性还是快速响应解决问题的能力都得到了客户认可，在帮助产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本等方面成果显著。
融资历史
工商信息
| 工商全称 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 | 英文全称 | RSIC scientific instrument(Shanghai)Co.,Ltd. |
| 法定代表人 | FENG YANG（杨峰） | 成立时间 | 2005-06-27 |
| 注册地址 | 中国（上海）自由贸易试验区华佗路68号6幢 |
股东（发起人）
持股比例
认缴出资额
认缴出资日期
中微半导体设备（上海）股份有限公司
29.36%
16326.6759
2021-03-01
上海浦东新兴产业投资有限公司
11.57%
6434.357
2009-09-17
上海张江科技创业投资有限公司
8.56%
4761.6285
2013-07-19
团队成员
吕彤欣
董事长
吕彤欣，睿励董事长。
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