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项目简介
生波智能是高端智能化半导体真空装备制造商，公司在等离子体源、PECVD源、PVD源等多种核心源部件拥有自主研发、制造能力。通过中高端设备的研发及专项设备的定制，为客户提供新工艺开发、新装备研制、大规模量产型生产线制造与交付以及技术支持等一体化解决方案。公司产品广泛应用于半导体、平板显示、航天科技、深空探测、新材料封装等领域，可以替代美国应用材料、日本爱发科、德国冯·阿登纳等海外巨头的部分同类产品。
工商信息
| 工商全称 | 浙江生波智能装备有限公司 | 英文全称 | - |
| 法定代表人 | 高文波 | 成立时间 | 2020-08-18 |
| 注册地址 | 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路6号4幢（自主申报） |
股东（发起人）
持股比例
认缴出资额
认缴出资日期
高文波
36.96%
535.5万人民币
2022-08-14
刘嘉翔
16.67%
241.5万人民币
2022-08-14
李朝晖
11.31%
163.8万人民币
2022-08-14
团队成员
高文波
创始人
物理学硕士、毕业于中国空间技术研究院，一直致力于泛半导体用真空镀膜技术和工艺以及设备研发等工作，从业时间长达20年以上，是中国最早一批主导半导体、光电显示领域大型真空镀膜生产线研发的技术专家。
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